白蚀病 http://disease.39.net/bjzkbdfyy/230526/13844267.html白蚀病 http://disease.39.net/bjzkbdfyy/230526/13844267.html
由于半导体生产是流程复杂、工艺多,且用水量多,其产生的半导体废水则是废水量大、污染物很多、浓度高等特点的工业废水。
(1)半导体废水采取分质分系统预处理是非常重要的,不同工艺产生的废水水质差别非常大,比如有含氟废水、含磷废水、含氨废水、含铜废水等,如果采取混合一起处理,不仅加大了处理难度(交叉感染等),而且忽略了混合后的污染物浓度问题,不利于更精细化处理。
半导体生产,图片来源于网络
(2)预处理工艺一般以物理化学法为主,其中化学沉淀法是使用较多的方法,可以根据废水的污染物不同采取不同的化学药剂,进而做到将其沉淀去除。
例如含氟废水是采用CaCl2做为其的化学药剂,使氟离子形成CaF2沉淀,与絮凝沉淀的方法(PAC、PAM等)使沉淀形成矾花,在沉淀池当中进行固液分离,达到比较理想的除氟效果。
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